PTN CÔNG NGHỆ VI HỆ THỐNG VÀ NANO QUANG TỬ

GIỚI THIỆU CHUNG

Phòng thí nghiệm của chúng tôi tập trung vào nghiên cứu và phát triển các vật liệu, thiết bị và cảm biến MEMS/NEMS cho các ứng dụng trong cảm biến MEMS, xử lý và giám sát môi trường, cảm biến y sinh, lưu trữ năng lượng và thu hoạch năng lượng. Chúng tôi cũng nghiên cứu, thiết kế và chế tạo các vật liệu và thiết bị micro/nano quang học và quang tử cho cảm biến quang học và mạch nano quang tử tích hợp. Ngoài ra, chúng tôi cũng phát triển các công nghệ chế tạo nano và chế tạo vi điện tử.
 

CÁC HƯỚNG NGHIÊN CỨU

• Công nghệ vi cơ điện tử MEMS,
• Vật liệu và linh kiện MEMS/NEMS
• Vật liệu và linh kiện micro/nano quang tử
• Công nghệ chế tạo nano
• Công nghệ IC
• Mạch nano quang tử tích hợp
• Công nghệ cảm biến MEMS, xử lý và quan trắc môi trường, cảm biến y sinh

NHÂN SỰ

• GS. TS. Chu Mạnh Hoàng 

• GS. TS. Vũ Ngọc Hùng
• TS. Vũ Thu Hiền
• TS. Trần Trọng An
• TS. Nguyễn Thị Kim Liên

1. Trịnh Thị Hà
2. Nguyễn Văn Đường
3. Nguyễn Văn Cường
4. Nguyễn Thị Minh Phương

1. Nguyễn Quốc Chiến
2. Bùi Phú Quý
3. Nguyễn Đăng Quang

1. Nguyễn Gia Bảo
2. Nguyễn Nhật Minh
3. Hoàng Văn Quang
4. Nguyễn Huyền Anh
5. Nguyễn Thái Thịnh VLKT K63
6. Nguyễn Đình Long VLKT K64
7. Vũ Việt Anh MS3-K64
8. Nguyễn Đức Cường MS3-K64
9. Nguyễn Ngọc Minh VLKT-K65
10. Trần Xuân Bách VLKT-K65

CÁC CÔNG BỐ

1. Nguyen Van Duong, Nguyen Quoc Chien, Dang Van Hieu, Chu Manh Hoang, Design and performance analysis of a mechanically coupled spring compliant to out-of-plane oscillation, Archive of Mechanical Engineering/ISSN: 0004-0738, ESCI.
2. Chu Manh Hoang, Nguyen Van Duong, Dang Van Hieu, An out-of-plane oscillating beam nanoresonator with ultrahigh intrinsic quality factor, chấp nhận đăng ngày 23/05/2022, đã có Proof, Materials Physics and Mechanics/ISSN: 1605-273, ESCI.
3. Nguyen Van Minh, Dang Van Hieu, Pham Van Tuan, Nguyen Duc Dung, Chu Manh Hoang, Characteristics of silicon nano-pillars fabricated by nano-sphere lithography and metal assisted chemical etching, Materials Science in Semiconductor Processing/ISSN:1369-8001.
4. Nguyen Van Duong, Nguyen Quoc Chien, Dang Van Hieu, Chu Manh Hoang, Performance analysis of serpentine springs compliant to out-of-plane oscillation, Journal of Theoretical and Applied Mechanics/ISSN:1429-2955.
5. Nguyen Van Minh, Dang Van Hieu, Nghiem Thi Ha Lien, Chu Manh Hoang, Factors affecting fabrication of silicon nanopillars using silica nanoparticle lithography and metal-assisted chemical etching, Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (tên cũ: Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS)/ /ISSN:1429-2955.
6. Cao Dung Truong, Tai Nguyen Van, Minh Tuan Trinh, Hoang Chu Manh, Hung Nguyen Tan, Bac Dang Hoai, Triple-wavelength filter based on the nanoplasmonic metal-insulator-metal waveguides, Optical and Quantum Electronics/ISSN:0306-8919, 53(5), 1-15, 2021.
7. Vinh NT Pham, Chu Manh Hoang, Nguyen Duy Vy, Competition between heating and cooling effects in an optomechanical oscillator using a squeezed field , Journal of Modern Optics/ISSN: 0950-0340, 68(2), 63-71 2, 2021
8. Van Hieu Dang, Van Tam Le, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang, Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe, Journal of Theoretical and Applied Mechanics/ISSN:1429-2955; 59, 143–15, 2021.
9. Dang Van Hieu, Le Van Tam, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang, Models for analyzing squeeze film air damping depending on oscillation modes of micro/nano beam resonators, Archive of Applied Mechanics/ISSN:0939-1533; 91(1), 363-373, 2021.
10. Pham Van Tuan, Chu Manh Hoang, Hoang Ba Tuong, Vu Thi Tan, Tran Thi Quynh Hoa, Nguyen Xuan Sang, Tran Ngoc Khiem, Effects of annealing temperature on the structure, morphology, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites, Nanotechnology/ISSN: 0957-4484; 32(1), 015201, 2021.
11. Dang Van Hieu, Le Van Tam, Nguyen Van Duong, Nguyen Duy Vy, Chu Manh Hoang, Design and Simulation Analysis of A Z-Axis Microactuator with Low Mode Cross-Talk, Journal of Mechanics/ISSN:1727-7191; 36(6), 881 – 888, 2020.
12. Vinh NT Pham, Chu Manh Hoang, Ho Thanh Huy, Nguyen Duy Vy, Takuya Iida, Amir Farokh Payam, Theoretical study on the optimal thermal excitation of bimaterial cantilevers, Applied Physics Express/ISSN:1882-0778; 13(6), 064002 5/2020.
13. Nguyen Thanh Huong, Nguyen Duy Vy, Minh-Tuan Trinh, Chu Manh Hoang, Tuning SPP propagation length of hybrid plasmonic waveguide by manipulating evanescent field, Optics Communications/ISSN:0030-4018; 462, 125335, 2020.
14. Nguyen Thanh Huong, Chu Manh Hoang, Modal characteristics and the tunability of horizontal hybrid gap plasmonic waveguide, Applied Physics B/ISSN:1432-0649; 126(2),1-10, 2020.
15. Huong Thanh Nguyen, Son Ngoc Nguyen, Minh-Tuan Trinh, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang*, Tunable Hybrid Gap Surface Plasmon Polariton Waveguides with Ultralow Loss Deep-Subwavelength Propagation, Plasmonics/ISSN:1557-1963; 14(6), 1751-1763, 2019.
16. N Nguyen, LQ Nguyen, Chu Manh Hoang, HN Vu, A two degrees of freedom comb capacitive-type accelerometer with low cross-axis sensitivity, Journal of Mechanical Engineering and Sciences/ISSN:2289-4659; 13(3), 5334-5346 , 2019.
17. Chu Manh Hoang, Minh-Tuan Trinh, Enhancing Propagation Length of Surface Plasmon Polaritons by Using Metallic Double-Layer Structure, IEEE Photonics Journal/ISSN:1943-0647; 11(5), 1-9, 2019.
18. ND Vy, NV Cuong, Chu Manh Hoang, A Mechanical Beam Resonator Engineered at Nanoscale for Ultralow Thermoelastic Damping, Journal of Mechanics/ISSN:1727-7191; 35(3), 351-358 , 2019.
19. Nguyen Thanh Huong, Nguyen Van Chinh, Chu Manh Hoang, Wedge Surface Plasmon Polariton Waveguides Based on Wet-Bulk Micromachining, Photonics/ISSN:2304-6732; 6(1), 21, 2019.
20. Hieu Le Trung, Ngoc Khiem Tran, Chu Manh Hoang, Hoa Nguyen Duc, Hoa Tran Thi Quynh, Thanh Huy Pham, Hydrothermal synthesis, structure, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites with different GO concentrations, Materials Research Express/ISSN:2053-1591; 5(9), 095506, 2018.
21. Chu Manh Hoang, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner, Microsystem Technologies/ISSN:0946-7076; 24(5), 2159-2168, 2018.
22. Vu Thi Ngoc Thuy, Chu Manh Hoang, Plasmon wave propagation property of wedge plasmonic waveguides covered by a protective oxide layer, Communications in Physics/ISSN:0886 – 3166; 32(2), 179-186, 2022.
23. Thi Thanh Lan Nguyen, Manh Hoang Chu, Fabrication and Characteristics of Silica Nanoparticle Monolayer Assembled by Spin Coating, VNU Journal of Science: Mathematics-Physics/ ISSN:2588-1124; 38(1), 111-118, 2022.
24. Phuong T. M. Nguyen, Tai Nguyen, Minh D. Nguyen and Thu-Hien Vu*, Impact of electrode materials on microstructure, leakage current and dielectric tunable properties of lead-free BSZT thin film, Ceramics International 47 (2021) 23214–23221, ISSN: 0272-8842; IF=5.5, Q1; https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.05.033
25. Doan T. Tran, Hien T. Vu, Hung N. Vu, Minh D. Nguyen, Enhanced energy-storage performance of sol-gel BaZr0.25Ti0.75O3 thin films via phase evolution of amorphous-crystalline structure, Ceramics International 49 (2023) 28794–28800, ISSN: 0272-8842; IF=5.5, Q1; https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.06.139
26. Phuong T. M. Nguyen, Tai Nguyen and Thu-Hien Vu, Facile preparation of KNN thin film with high purity phase and excellent electrical properties, Adv. Nat. Sci: Nanosci. Nanotechnol. (2023), accepted, ISSN: 2043-6262; IF=2.01, Q2;
27. Hien T. Vu, Hung N. Vu, Guus Rijnders, Minh D. Nguyen, Sm-doping driven state-phase transition and energy storage capability in lead-free Ba(Zr0.35Ti0.65)O3 films, Journal of Alloys and Compounds 968 (2023) 171837, ISSN print: 0925-8388; ISSN online: 1873-4669; IF=6.2, Q1; https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.171837
28. Vu Thu Hien, Nguyen Thi Minh Phuong, Microstructure and electrical properties of low-temperature solution-processed sol-gel KNN thin films, VNU Journal of Science: Mathematics – Physics, Vol. 36, No. 3 (2020) 58-65, ISSN: 2615-9341 or 2588-1124;  https://doi.org/10.25073/2588-1124/vnumap.4460
29. Thu-Hien Vu, Nguyen T. M. Phuong, Tai Nguyen, Lead-free ferroelectric Barium titanate -based thin film for tunable microwave device application, 2021 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 1091 012060; https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1757-899X/1091/1/012060

1. Bằng sáng chế: Cơ cấu bao gồm hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ cho chuyển động thẳng đứng và bộ chấp hành tĩnh điện, Chu Mạnh Hoàng, Nguyễn Văn Đường, Đặng Văn Hiếu, Lê Văn Tâm, mã số: 36675, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 11/11/2022.
2. Bằng sáng chế: Phương pháp chế tạo các linh kiện quang dựa trên kỹ thuật ăn mòn tạo khuôn, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 37892, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 13/11/2023.
3. Giải pháp hữu ích: Hệ thống kênh dẫn sóng đa chức năng, Chu Mạnh Hoàng, Trương Cao Dũng, mã số: 3119, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 16/02/23.
4. Bằng sáng chế: Hệ thống khắc và in mẫu ba chiều kích thước nano, Chu Mạnh Hoàng, Đặng Văn Hiếu, Nguyễn Văn Đường, Vũ Thị Ngọc Thúy, Nguyễn Thị Lan Anh, Lưu Thị Lan Anh, Nguyễn Duy Vỹ, mã số: 34312, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 18/02/2020.
5. Bằng sáng chế: Kênh dẫn sóng plasmon gáp lai tùy biến với các thành phần kết cặp nằm ngang, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 32275, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 13/05/2022.
6. Bằng sáng chế: Kênh dẫn sóng plasmon lai tùy biến chiều dài truyền, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 28194, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 30/03/202
7. Bằng giải pháp hữu ích: Kênh dẫn sóng plasmonic lai, Chu Mạnh Hoàng, Nguyễn Thanh Hường, mã số: 2363, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 16/06/2020.
8. Bằng sáng chế: Quy trình chế tạo kênh dẫn sóng plasmonic dạng kênh, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 23151 Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 13/01/2020.
9. Bằng sáng chế: Phương pháp chế tạo kênh dẫn sóng plasmonic lai, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 23007, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 30/12/2019.