TRƯỜNG VẬT LIỆU - Đại học Bách khoa Hà Nội

GIỚI THIỆU

GS. TS. Chu Mạnh Hoàng hiện là giảng viên cao cấp thuộc Khoa Vật liệu điện tử và linh kiện, Trường Vật liệu, Đại học Bách Khoa Hà Nội. GS. TS. Chu Mạnh Hoàng tốt nghiệp Đại học chuyên ngành Vật lý kỹ thuật tại Trường đại học Bách khoa Hà Nội năm 2004, nhận bằng Thạc sỹ chuyên ngành Khoa học vật liệu tại Viện ITIMS, Trường ĐH Bách Khoa Hà Nội năm 2007. Năm 2011, Ông hoàn thành Luận án Tiến sĩ chuyên ngành Công nghệ Nano tại Trường ĐHTH Tohoku, Nhật Bản. Các hướng nghiên cứu hiện nay của PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng bao gồm: 1) Vi hệ thống cơ-quang-điện tử; 2) Quang học micro/nano; 3) Cảm biến vi cơ điện tử. Các kết quả nghiên cứu đã được công bố trong hơn 130 bài báo khoa học trên các tạp chí và hội nghị trong nước và quốc tế; được cấp 05 bằng sáng chế/giải pháp hữu ích, chủ biên và tham gia viết 03 cuốn sách chuyên khảo về lĩnh vực vi cơ điện tử và vật liệu MEMS.

LĨNH VỰC NGHIÊN CỨU

• Vi hệ thống cơ-quang-điện tử
• Quang học micro/nano
• Cảm biến vi cơ điện tử

CÁC NGHIÊN CỨU QUAN TÂM

• Vi hệ thống cơ-quang-điện tử
• Quang học micro/nano
• Cảm biến vi cơ điện tử

CÁC MÔN GIẢNG DẠY

• Vật liệu và linh kiện MEMS
• Vật liệu kỹ thuật cho plasmon bề mặt
• Kỹ thuật khắc mẫu từ micro tới nano mét tiên tiến
• Linh kiện quang tử tiên tiến trên cơ sở công nghệ vi hệ thống

CÁC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC TIÊU BIỂU

Một đề tài NCKH điển hình:

• Đề tài NAFOSTED: Nghiên cứu thiết kế, chế tạo và khảo sát đặc trưng của kênh dẫn sóng plasmonic lai có chiều dài truyền ở tỷ lệ cm và kích thước mốt truyền nhỏ hơn nhiều lần bước sóng
• Đề tài NAFOSTED: Nghiên cứu thiết kế chế tạo và khảo sát đặc trưng hoạt động của kênh dẫn sóng plasmon bề mặt định hướng ứng dụng trong mạch quang tích hợp
• Đề tài NAFOSTED: Nghiên cứu chế tạo dây nano silíc đơn tinh thể và linh kiện cộng hưởng hệ số phẩm chất cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho ứng dụng trong các hệ thống nano
• Đề tài Bộ GD&ĐT: Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng đế có cấu trúc nano plasmonic trong cảm biến y sinh
• Cấp cơ sở: Nghiên cứu chế tạo vật liệu plasmonic hai chiều ứng dụng công nghệ khắc cơ học

Một số bài báo điển hình:

1. Bằng sáng chế: Kênh dẫn sóng plasmon gáp lai tùy biến với các thành phần kết cặp nằm ngang, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 32275, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 13/05/2022.
2. Bằng sáng chế: Kênh dẫn sóng plasmon lai tùy biến chiều dài truyền, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 28194, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 30/03/202
3. Bằng giải pháp hữu ích: Kênh dẫn sóng plasmonic lai, Chu Mạnh Hoàng, Nguyễn Thanh Hường, mã số: 2363, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 16/06/2020.
4. Bằng sáng chế: Quy trình chế tạo kênh dẫn sóng plasmonic dạng kênh, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 23151 Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 13/01/2020.
5. Bằng sáng chế: Phương pháp chế tạo kênh dẫn sóng plasmonic lai, Chu Mạnh Hoàng, mã số: 23007, Cục sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ, cấp ngày 30/12/2019.
6. Nguyen Van Duong, Nguyen Quoc Chien, Dang Van Hieu, Chu Manh Hoang, Design and performance analysis of a mechanically coupled spring compliant to out-of-plane oscillation, Archive of Mechanical Engineering/ISSN: 0004-0738, ESCI.
7. Chu Manh Hoang, Nguyen Van Duong, Dang Van Hieu, An out-of-plane oscillating beam nanoresonator with ultrahigh intrinsic quality factor, chấp nhận đăng ngày 23/05/2022, đã có Proof, Materials Physics and Mechanics/ISSN: 1605-273, ESCI.
8. Nguyen Van Minh, Dang Van Hieu, Pham Van Tuan, Nguyen Duc Dung, Chu Manh Hoang, Characteristics of silicon nano-pillars fabricated by nano-sphere lithography and metal assisted chemical etching, Materials Science in Semiconductor Processing/ISSN:1369-8001.
9. Nguyen Van Duong, Nguyen Quoc Chien, Dang Van Hieu, Chu Manh Hoang, Performance analysis of serpentine springs compliant to out-of-plane oscillation, Journal of Theoretical and Applied Mechanics/ISSN:1429-2955.
10. Nguyen Van Minh, Dang Van Hieu, Nghiem Thi Ha Lien, Chu Manh Hoang, Factors affecting fabrication of silicon nanopillars using silica nanoparticle lithography and metal-assisted chemical etching, Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (tên cũ: Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS)/ /ISSN:1429-2955.
11. Cao Dung Truong, Tai Nguyen Van, Minh Tuan Trinh, Hoang Chu Manh, Hung Nguyen Tan, Bac Dang Hoai, Triple-wavelength filter based on the nanoplasmonic metal-insulator-metal waveguides, Optical and Quantum Electronics/ISSN:0306-8919, 53(5), 1-15, 2021.
12. Vinh NT Pham, Chu Manh Hoang, Nguyen Duy Vy, Competition between heating and cooling effects in an optomechanical oscillator using a squeezed field , Journal of Modern Optics/ISSN: 0950-0340, 68(2), 63-71 2, 2021
13. Van Hieu Dang, Van Tam Le, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang, Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe, Journal of Theoretical and Applied Mechanics/ISSN:1429-2955; 59, 143–15, 2021.
14. Dang Van Hieu, Le Van Tam, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang, Models for analyzing squeeze film air damping depending on oscillation modes of micro/nano beam resonators, Archive of Applied Mechanics/ISSN:0939-1533; 91(1), 363-373, 2021.
15. Pham Van Tuan, Chu Manh Hoang, Hoang Ba Tuong, Vu Thi Tan, Tran Thi Quynh Hoa, Nguyen Xuan Sang, Tran Ngoc Khiem, Effects of annealing temperature on the structure, morphology, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites, Nanotechnology/ISSN: 0957-4484; 32(1), 015201, 2021.
16. Dang Van Hieu, Le Van Tam, Nguyen Van Duong, Nguyen Duy Vy, Chu Manh Hoang, Design and Simulation Analysis of A Z-Axis Microactuator with Low Mode Cross-Talk, Journal of Mechanics/ISSN:1727-7191; 36(6), 881 – 888, 2020.
17. Vinh NT Pham, Chu Manh Hoang, Ho Thanh Huy, Nguyen Duy Vy, Takuya Iida, Amir Farokh Payam, Theoretical study on the optimal thermal excitation of bimaterial cantilevers, Applied Physics Express/ISSN:1882-0778; 13(6), 064002 5/2020.
18. Nguyen Thanh Huong, Nguyen Duy Vy, Minh-Tuan Trinh, Chu Manh Hoang, Tuning SPP propagation length of hybrid plasmonic waveguide by manipulating evanescent field, Optics Communications/ISSN:0030-4018; 462, 125335, 2020.
19. Nguyen Thanh Huong, Chu Manh Hoang, Modal characteristics and the tunability of horizontal hybrid gap plasmonic waveguide, Applied Physics B/ISSN:1432-0649; 126(2),1-10, 2020.
20. Huong Thanh Nguyen, Son Ngoc Nguyen, Minh-Tuan Trinh, Kazuhiro Hane, Chu Manh Hoang*, Tunable Hybrid Gap Surface Plasmon Polariton Waveguides with Ultralow Loss Deep-Subwavelength Propagation, Plasmonics/ISSN:1557-1963; 14(6), 1751-1763, 2019.
21. N Nguyen, LQ Nguyen, Chu Manh Hoang, HN Vu, A two degrees of freedom comb capacitive-type accelerometer with low cross-axis sensitivity, Journal of Mechanical Engineering and Sciences/ISSN:2289-4659; 13(3), 5334-5346 , 2019.
22. Chu Manh Hoang, Minh-Tuan Trinh, Enhancing Propagation Length of Surface Plasmon Polaritons by Using Metallic Double-Layer Structure, IEEE Photonics Journal/ISSN:1943-0647; 11(5), 1-9, 2019.
23. ND Vy, NV Cuong, Chu Manh Hoang, A Mechanical Beam Resonator Engineered at Nanoscale for Ultralow Thermoelastic Damping, Journal of Mechanics/ISSN:1727-7191; 35(3), 351-358 , 2019.
24. Nguyen Thanh Huong, Nguyen Van Chinh, Chu Manh Hoang, Wedge Surface Plasmon Polariton Waveguides Based on Wet-Bulk Micromachining, Photonics/ISSN:2304-6732; 6(1), 21, 2019.
25. Hieu Le Trung, Ngoc Khiem Tran, Chu Manh Hoang, Hoa Nguyen Duc, Hoa Tran Thi Quynh, Thanh Huy Pham, Hydrothermal synthesis, structure, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites with different GO concentrations, Materials Research Express/ISSN:2053-1591; 5(9), 095506, 2018.
26. Chu Manh Hoang, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner, Microsystem Technologies/ISSN:0946-7076; 24(5), 2159-2168, 2018.
27. Vu Thi Ngoc Thuy, Chu Manh Hoang, Plasmon wave propagation property of wedge plasmonic waveguides covered by a protective oxide layer, Communications in Physics/ISSN:0886 – 3166; 32(2), 179-186, 2022.
28. Thi Thanh Lan Nguyen, Manh Hoang Chu, Fabrication and Characteristics of Silica Nanoparticle Monolayer Assembled by Spin Coating, VNU Journal of Science: Mathematics-Physics/ ISSN:2588-1124; 38(1), 111-118, 2022.

SÁCH ĐÃ XUẤT BẢN

• Cảm biến và vi chấp hành vi hệ thống cơ – quang – điện tử, Chu Mạnh Hoàng, Nhà xuất bản Khoa học và Kỹ thuật, 2021.
• Cấu trúc nano plasmonic: Chế tạo, đặc trưng và ứng dụng, Chu Mạnh Hoàng (chủ biên), Nhà xuất bản Khoa học và Kỹ thuật, 2021.
• MEMS áp điện: Vật liệu và Linh kiện, Chu Mạnh Hoàng (Chương 7), Nhà xuất bản Bách Khoa, 2017.

THÔNG TIN THÊM

• Không có